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第497章 小白的微操秀2

    搞定宣发和youtube,林平安又进入了长时间的开发模式。发^.^新^.^地^.^址 wWwLtXSFb…℃〇M


    五月底的深圳,雨季刚过,空气中透着一股湿热的躁动。


    观澜光刻城一号总装车间内,那种躁动被彻底隔绝在厚重的防爆墙之外,取而代之的是一种近乎凝固的死寂。


    一台足有两层楼高、占地几十平方米的银白色巨兽,静静地矗立在超净间的中央。


    它有着复杂的管路、精密的镜头组、以及那个被无数工程师视为“禁区”的核心部件——浸没式光刻头。


    这就是代号“盘古”的国产首台浸没式光刻机原型机。


    此时此刻,它像是一头沉睡的巨龙,等待着最后的唤醒。


    现场的气氛压抑得让人喘不过气来。


    彼得双手死死地抓着控制台的边缘,他的额头上渗出了细密的汗珠,尽管车间里的恒温系统一直维持在令人舒适的22度。


    不仅是他,身后那几十名来自全球各地的顶尖工程师,此刻也都像是等待宣判的囚徒。


    有人在胸口画着十字,有人在转动手里的笔,还有人在不停地吞咽口水。


    “First Light”(首光)。


    这是光刻机制造领域最神圣、也最令人畏惧的词汇。


    它意味着这台由十万个零件组成的精密机器,将第一次真正通电、通光、通水,去挑战物理学的极限。


    一旦失败,可能意味着无数个日夜的努力化为泡影。


    “老板,所有子系统自检完毕。”


    何奇的声音打破了死寂,“水循环系统正常,激光器预热完成,工件台……准备就绪。”


    所有人的目光都集中到了那个站在总控台前的年轻人身上。


    林平安。


    他依然穿着那身洁白的防尘服,护目镜后的眼神平静如水,仿佛他面对的不是人类工业皇冠上的明珠,而是一台普通的微波炉。


    “彼得,你看起来很紧张?”


    林平安转过头,甚至还有心情调侃了一句。


    “BOSS……这可是浸没式!水和光,这两种东西本来就是冤家!”彼得的声音都在抖,“只要有一个气泡,哪怕是微米级的气泡,光路就会发生折射,曝光就会失败!这就像是在每秒高速移动的过山车上穿针引线!”


    “在别人那里,是冤家。”


    林平安转过身,手指轻轻放在了那个红色的“启动”按钮上。


    “但在我这里,它们是情人。”


    林平安小声开口,“小白,接管全系统。发布页LtXsfB点¢○㎡”


    “明白,先生。”


    耳机里传来小白那让人无比安心的声音,“流体力学模型加载完毕,热透镜效应补偿算法已就位,实时波前像差校正已启动。”


    “那就……点火。”


    林平安的手指轻轻按下。


    “嗡——”


    一声极低沉、极具穿透力的电流声瞬间响彻车间。


    这头沉睡的巨兽,苏醒了。


    “注水!”


    随着指令下达,那个最令人提心吊胆的环节开始了。


    超纯水通过特制的喷嘴,被注入到投影镜头和晶圆之间的那层狭小缝隙中。


    那是只有几毫米的间隙!


    水流必须形成一个完美、稳定、且随着晶圆台高速运动而不会破碎的“水膜”。


    这就好比你要在疾驰的高铁顶上顶着一杯水,还得保证水面连一丝涟漪都没有。


    大屏幕上,高速摄像机实时传回了微观视角的画面。


    彼得瞪大了眼睛,死死盯着屏幕。


    “气泡!千万别有气泡!”他在心里疯狂祈祷。


    然而,画面上的一幕让他彻底傻眼了。


    水流极其顺滑地流过,在空气气帘的约束下,乖巧得像是一块凝固的水晶。


    没有湍流。


    没有飞溅。


    更没有该死的气泡!


    “这……这流体控制……”彼得喃喃自语,“这简直就是艺术!它是怎么做到的?它是怎么预判液体流向的?”


    他不知道,在小白的算力世界里,每一个水分子的运动轨迹都已经被模拟了上亿次。


    这就是“全知全能”。


    “流场稳定。”林平安的声音依旧平淡,“开始曝光。”


    “滋——滋——滋——”


    深紫色的ArF激光束穿过复杂的透镜组,穿过那层完美的水膜,狠狠地撞击在涂满光刻胶的12寸晶圆上。


    工件台开始疯狂移动。


    那是令人眼花缭乱的速度,每秒钟移动数百次,还要保持纳米级的定位精度。


    “这就是所谓的‘加强版双工件台’技术?”


    旁边的一个德国工程师看得目瞪口呆,“这速度比以前的ASML的还要快30%!而且稳得像磐石一样!”


    十分钟。


    仅仅十分钟,一张晶圆曝光完成。


    机械臂将其送入显影机。


    所有人都屏住了呼吸,等待着那个最终的判决。


    显影完成。


    晶圆被送到了高倍电子显微镜下。


    图像被投射到了中央大屏幕上。


    那一刻。


    车间里响起了一片抽气声。


    屏幕上,是一排排整齐、锐利、如同刀切豆腐般完美的电路图。


    线条笔直,边缘清晰,没有任何驻波效应,没有任何线宽粗糙(LER)。


    “测量线宽!”彼得吼道。


    “线宽……45.00nm!”


    检测员的声音因为极度亢奋而破音了,“误差……小于0.5nm!套刻精度……2nm!”


    “轰——!!!”


    虽然车间里禁止大声喧哗,但此刻没人顾得上了。


    “成功了!我们成功了!”


    “45纳米!一次成功!上帝啊!”


    “这怎么可能?我们居然一次就做到了完美?”


    彼得冲到屏幕前,像个疯子一样抚摸着那张图像,眼泪夺眶而出。


    “完美……这是我这辈子见过的最完美的光刻线条!这是工业的奇迹!”


    他转过身,看着林平安的眼神里充满了狂热的崇拜,就像是在看一个降临凡间的神祗。


    “老板!您知道这意味着什么吗?我们跨过了90纳米,跨过了65纳米,直接干到了45纳米!”


    “我们领先了世界整整一代!”


    然而,林平安并没有表现出太多的激动。


    他只是看了一眼数据,微微皱眉。


    “良品率才95%?”


    他摇了摇头,“不够。”


    “什么?95%还不购?”彼得差点一口气没上来,“老板,这是原型机!第一次曝光!ASML以前的量产机良品率刚开始也才80%啊!”


    “那是他们菜。”


    林平安语气淡然,却狂妄至极。


    “我们要做的,不是追赶,是碾压。”


    “小白,启动‘光刻之神’模式。”林平安再次轻声呼唤。


    “收到,先生。正在进行全参数反向优化。”


    下一秒。


    屏幕上的数据开始疯狂跳动。


    那不是几十个参数在变,那是几亿个变量在同时调整!


    激光功率、焦距微调、液流速度、工件台加速度、甚至连环境温度的0.01度波动……


    小白通过机器学习,在几秒钟内完成了人类工程师需要数年才能完成的“校准循环”。


    “优化完毕。参数已更新。”


    “再来一次。”林平安下令。


    第二张晶圆送入。


    曝光。


    显影。


    检测。


    当新的数据跳出来的时候,整个车间彻底安静了。


    那种安静,是因为极度的震撼而导致的失语。


    良品率:99.9%!


    这是一个在半导体制造领域被称为“神之领域”的数字。


    这意味着,这台机器生产出来的芯片,几乎没有废品!


    这意味着,成本将大幅降低,产能将爆炸式增长!


    彼得的双腿一软,直接跪在了地上。


    他看着那台银白色的巨兽,嘴唇哆嗦着:


    “这不是机器……这是……这是神迹……”


    “几分钟……只用了几分钟就完成了几年的校准……”


    “老板,您到底是什么人?”


    林平安脱下护目镜,露出一张年轻而英俊的脸庞。


    他走到彼得面前,伸手将这位世界顶级的技术专家扶了起来。


    “我?”


    林平安笑了笑,拍了拍彼得的肩膀。


    “我只是个相信科学的生意人。”


    “彼得,别跪着了。以后这种场面还多着呢,你得习惯。”


    他转身,面向所有目瞪口呆的工程师和员工,张开双臂。


    “各位。”


    “今天,我们创造了历史。”


    “我宣布,中国第一台,也是世界第一台量产型浸没式光刻机——”


    “【盘古一号】。”


    “正式下线!”


    “哗——!!!”


    掌声、欢呼声、尖叫声,如同海啸一般淹没了整个车间。


    有人把帽子扔向空中,有人互相拥抱痛哭,甚至有人激动得晕了过去。


    太不容易了!


    从被封锁、被嘲笑、被质疑,到今天的一鸣惊人、一飞冲天!


    他们仅仅用不到一年的时间,走完了西方三十年的路!


    而在这片狂欢的海洋中心。


    林平安依然保持着那份独特的冷静。


    “盘古开天辟地。”


    “从今天起,这片混沌的半导体世界,该由我们来重新定义规则了。”


    他转头看向窗外。


    那里是南方。


    是台积电的废墟,是ASML的灰烬。


    “抱歉了,各位同行。”


    “你们没路走了。”


    “因为路,都在我脚下。”


    ……


    当天晚上。


    庆功宴就在光刻城的食堂举行。


    没有五星级酒店的奢华,但有最硬的菜,最烈的酒。


    林平安端着酒杯,走到彼得那一桌外国专家面前。


    这帮老外此刻已经喝嗨了,一个个面红耳赤,在那儿用各种语言高呼“林总万岁”。


    “彼得。”


    林平安敬了他一杯。


    “老板!”彼得赶紧站起来,有些大舌头,“这酒……真带劲!就像那台机器一样!”


    “喜欢就好。”


    林平安笑着说道,“不过,这只是个开始。”
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